無(wú)塵車間工程非常可怕的靜電危害

發(fā)布日期：2016-12-19 作者：點(diǎn)擊：

在無(wú)塵車間工程中，由于靜電的不良影響，會(huì)導(dǎo)致微粒污染，靜電放電（ESD）以及設(shè)備故障等問題?，F(xiàn)代的過濾技術(shù)可以防止絕大部分的外部粉塵進(jìn)入潔凈室。但是，在潔凈室內(nèi)部，粉塵依然會(huì)在工作人員，生產(chǎn)設(shè)備以及部分生產(chǎn)過程中產(chǎn)生。令人遺憾的是，通常這些粉塵源都會(huì)比較靠近產(chǎn)品。如果物體表面帶了靜電，由于靜電吸引就會(huì)吸附在潔凈室層流中傳播的粉塵。亞微米級(jí)的塵粒會(huì)影響到高科技產(chǎn)品的質(zhì)量，它們一旦被吸附，產(chǎn)品表面就很難清除。

無(wú)塵車間工程

靜電放電也會(huì)產(chǎn)生電磁干擾（EMI）現(xiàn)象。這將會(huì)妨礙到產(chǎn)品設(shè)備（特別是基于微處理器的機(jī)器人技術(shù)）的正常工作。發(fā)生在某部分設(shè)備上的靜電放電，也可能會(huì)影響到附近其他設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)，這樣就很難找出問題出在什么地方。一個(gè)全面的污染控制流程，必須將靜電問題作為潔凈室污染的一種類型，將其測(cè)量和處理納入其中。

除了會(huì)使?jié)崈羰抑械某龎m變得更加困難外，靜電還會(huì)帶來(lái)其他的生產(chǎn)問題。未加控制的靜電傳導(dǎo)——靜電放電——會(huì)直接對(duì)產(chǎn)品產(chǎn)生危害。危害到半導(dǎo)體、磁盤零部件、醫(yī)療設(shè)備以及多種類型的薄膜和涂層。

塵粒污染在半導(dǎo)體、磁盤驅(qū)動(dòng)器和FPD產(chǎn)業(yè)中臭名昭著。它們會(huì)導(dǎo)致組件報(bào)廢或者損害磁頭和磁盤介質(zhì)。一個(gè)平面顯示器很可能因?yàn)閱螁我粋€(gè)帶靜電的塵粒而被破壞掉。對(duì)于醫(yī)療設(shè)備，帶靜電的塵粒在其質(zhì)量上所帶來(lái)的后果可能會(huì)更為嚴(yán)重。在醫(yī)療、制藥、食品加工還有其他生命科學(xué)行業(yè)中，還必須考慮吸附在塵粒上的微生物的影響。